气质联用（GCMS）
附件：
通标小菜鸟
第1楼2020/03/25
你调谐的时候真空度抽到了多少，至少要10-5torr才能进行调谐，还有检查放空阀以及真空腔密封圈是否紧密
tang566
第2楼2020/03/25
确认载气过滤器是否需要更换？换一瓶氦气试试。
JOE HUI
第3楼2020/03/25
进了空气，请上调谐报告分析下
m3123583
第4楼2020/03/25
首先什么配置具体的，其次做了什么操作。
检测老菜鸟
第5楼2020/03/25
漏气？
pb123123
第6楼2020/03/25
刚新更换的一瓶气体。
sdlzkw007
第7楼2020/03/25
气体更换需要关注一下捕集阱是否失效，管道内气体是否置换彻底。
第8楼2020/03/25
氮氧比4:1，漏气，查检测下各接口、传输线、侧板的密封处，放空阀是否拧紧。如果都无问题，有可能是载气捕集阱失效。
WUYUWUQIU
第9楼2020/03/26
后面进气口放一下氮气，然后在试一下，如果不行，那就是载气捕集阱，看看是不是已经要更换了。
xiaoxiao523
第10楼2020/03/26
其他都更换了，把总流量和尾吹流量开大吹五分钟，或者你的捕集阱是不是该更换了
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