请问扩散泵的真空一般可以达到多少（mba)呢？

应助达人

油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

应助达人

油扩散泵真空度应该也挺高的，网上资料显示大概是10-1~10-5Pa，估计正常应该有10-3左右，主要是抽速慢。单位有2台扫描电镜，一台是机械泵 油扩散泵，一台是机械泵 分子涡轮泵，两者从开始抽真空到真空度达标可以使用时间相差好几倍。

应助达人

油扩散泵是不是存在有油污染的问题？



真空度受油的蒸汽压限制，真空度不可能低于油蒸汽压。