气质联用（GCMS）
xiaogumd11
第1楼2021/04/15
清洗离子源后，检查一下真空腔是否安装好，密封圈是否安装好。
通标小菜鸟
第2楼2021/04/15
涡轮泵的正常运转与否与前级机械泵息息相关，仪器开机启动，前级泵预先抽至一定真空度，然后分子涡轮泵启动。楼主首先确保前级泵是否运转正常，检查泵油液面高度是否足够。卸掉真空，重新检查真空腔是否关闭到位，密封圈按紧确保不漏气，然后重新抽真空看看能否抽上。
yxwang1990
第3楼2021/04/15
多数为大漏气
PAEs
第4楼2021/04/16
检查下真空腔的密封圈是否在凹糟里面，
m3128509
第5楼2021/04/16
漏气的可能性占80%
安平
第6楼2021/04/19
既然维护操作之后，发生故障。那么建议再次检查和维护一下系统，是否存在真空密封不良问题或者维护之后存在安装不良的问题
lzq168
第7楼2021/04/19
漏气为大概率
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