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SEM尺寸测量原理

  • huangtao0307
    2021/09/04
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 哪位大神可以科谱一下SEM尺寸测量原理?
    金相显微镜是固定放大倍率下通过采集像素多少定标。
    但SEM并没有这样的操作,软件是如何实际任意放大倍率下量测的??
    +关注 私聊
  • SEMDriver

    第1楼2021/09/05

    设备会用标样校准特定条件,其他条件都是通过计算补偿

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    +关注 私聊
  • It is me!

    第2楼2021/09/05

    是的,应该是通过标样校准的。

    SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:设备会用标样校准特定条件,其他条件都是通过计算补偿

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    +关注 私聊
  • dahua1981

    第3楼2021/09/06

    应助达人

    CD SEM和普通的SEM没有本质区别。

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