【求助】SEM的几个电流含义？

抛砖一下：
Emission current:是电子枪的发射电流，应该是出韦氏帽的电流。
Beam current:是通过聚光镜中的电流。这个通过的概念不知是否讲的是通过线圈的电流，而不是Emission current 下来的电流。因为有这样一个说法，说beam current 越大，会聚能力越强，透镜的焦距变短，通过物镜光阑打在样品表面的Probe current反而变小。
Probe current:如上所言，就是打在样品上的电流。很多电镜都有测量Probe current 的装置，并有数值显示。Probe current的电流小，则信号弱，信噪比低，影响分辨率和图像清晰度。在低加速电压下，有通过调节Bias的方式来增大Emission current（有些写增大Beam current），最终都可以增大Probe current。增大物镜光阑孔径也可适当增大Probe current。

有些概念不明之处，还请多多指正！

工作距离和焦距：
工作距离：是指物镜中心（虚拟）到试样表面的距离。要想观测到清晰图像，在这个工作距离要实现良好聚焦。在其它条件不变的前提下，物镜具有一定的调节焦距的能力，这不同于光学透镜（当入射光束固定时，焦距也固定）。很多电镜都具备自动聚焦的能力，这就是说先调节工作距离，那么通过自动聚焦，焦距≈工作距离。由于试样表面凹凸不平，要得到拟观察位置的清晰图像，还要进行焦距的微调。呵呵，不知这样是否明了？
调节工作距离有利于观察，这是一个手段。或许LZ还要考虑景深。

Emission Current和Beam Current是一样的的吧？

也有将In-Column Current说是Beam Current的，不确定的说，请大虾指教啊！