ICP-MS
tuxlin
第1楼2022/03/18
机械泵有问题。机械泵启动不了，就没法开始抽真空。自己不能处理的话，就只能报修了。
PE技术答疑
第2楼2022/03/18
检查并确认氩气已打开且出口压力正常，再检查一下机械泵的电源插座是否有电，开关是否打开。如果以上检查都OK的话，有可能机械泵有问题，建议报修请工程师上门检查确认。
次元之暗面
第3楼2022/03/18
机械泵是否正常工作，如机械泵不能工作。找个会修泵的电工来修就行。如果机械泵可以正常工作而不能启动分子涡轮泵，分子涡轮泵损毁，咨询仪器工程师上门更换。
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