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【实战宝典】半导体分析中常用的ICP-MS质谱干扰技术有哪些？

小官人-闭关修炼中

2022/07/05

问题描述：半导体分析中常用的ICP-MS质谱干扰技术有哪些？
解答：
与其他行业样品分析一样，各类半导体样品进行分析时受到质谱干扰和非质谱干扰，常用的ICP-MS质谱干扰技术包括冷等离子体技术，碰撞反应池技术（包括碰撞模式和反应模式（on mass和 mass shift））以及冷等离子体与碰撞反应池相结合的技术。

以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》

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