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【实战宝典】什么是集成电路溅射靶材?质量要求如何?
小官人-闭关修炼中
2022/07/05
私聊
ICP-MS
问题描述:什么是集成电路溅射靶材?质量要求如何?
解答:
超高纯金属材料及溅射靶材是集成电路制造所必需的关键原材料
。
在溅射靶材应用领域中,集成电路对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都有极其严苛的标准,需要掌握生产过程中的关键技术,并经过长期实践才能制成符合工艺要求的产
品。
而平面显示器、太阳能电池对于溅射靶材的纯度和技术要求略低一筹,但随着靶材尺寸的增大,对溅射靶材的焊接结合率、平整度等指标也提出了更高的要
求。对于高纯度的靶材分析,一般采用与一般地金属材料分析
溅射靶材
[21]
高纯金属原材料是靶材生产制造的基础,目前集成电路中应用的超高纯金属材料纯度通常要求达到
4N5
,对碱金属和碱土金属元素,过渡金属元素,放射性金属元素等都需要严格控制。对于纳米互连工艺中的
Cu
及其合金纯度要求达到
6N
以上。
高纯
Cu-Al
合金中的化学成分
[22]
以上内容来自仪器信息网《
ICP-MS
实战宝典》
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