【讨论】如何选择低真空扫描电镜的压力

根据样品的绝缘性以及湿度

给些具体值以供参考：聚合物在VP模式下12KV/43Pa（BSE图象）；半导体材料10KV/20Pa（BSE图象）。这只是我看到的一些资料上的特定材质的选用电压/压力关系。具体的还是需要自己根据特定材料调节。

一般靠点经验，但是，真空度越低，分辨率就会下降

一般靠点经验，但是，真空度越低，分辨率就会下降[/quote]

这只是JEOL的说法,其实不然,五六百帕一样可以达到3nm的分辨率.

这只是JEOL的说法,其实不然,五六百帕一样可以达到3nm的分辨率.[/quote]

真空度和分辨率还是有关系的，不仅JEOL,我有试过用ZEISS和TESCAN的电镜去拍，在五六百帕拍10万倍的图片，也很困难。

真空度和分辨率还是有关系的，不仅JEOL,我有试过用ZEISS和TESCAN的电镜去拍，在五六百帕拍10万倍的图片，也很困难。[/quote]

一般样品钨灯丝的10万倍当然困难,用标样就会好很多.场发射的低真空又会有很大的提高,十万倍也很轻松.