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芯片电极厚度测量

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 各位专家！

    弱弱的问一下，LED200微米见方的芯片（垂直结构），电极在上方，怎么样用电镜来测量电极的厚度。图片传不上去，见谅！后续在传。
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  • gegeyc88

    第2楼2013/03/13

    图片终于搞上去了，请各位指教，上方蓝色为电极，实际的电极要比这个要大。

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  • 小M

    第3楼2013/03/14

    应助达人

    把样品能看到各层截面的面朝上放置就可以了。

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  • gegeyc88

    第4楼2013/03/14

    有点难度哦，样品好小，不过会试试的！

    小M(mitchell_dyzy) 发表:把样品能看到各层截面的面朝上放置就可以了。

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  • beryl_114

    第5楼2013/03/15

    如果可以破坏的话，做个切片再测量应该可以。

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  • 小M

    第7楼2013/03/15

    应助达人

    几层加起来一共多厚？

    gegeyc88(v2675311) 发表:有点难度哦，样品好小，不过会试试的！

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  • gegeyc88

    第8楼2013/03/18

    大概150-200微米左右

    小M(mitchell_dyzy) 发表:几层加起来一共多厚？

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  • gegeyc88

    第9楼2013/03/18

    用光学显微镜试过，效果不是很好！

    小M(mitchell_dyzy) 发表:把样品能看到各层截面的面朝上放置就可以了。

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  • gegeyc88

    第10楼2013/03/18

    主要是现在还没有可以做这个的研磨抛光机！

    beryl_114(beryl_114) 发表:如果可以破坏的话，做个切片再测量应该可以。

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