放大倍数我就忘记了，好像是1000左右吧，如果比较大的放大倍数就要漂，是不是SPOT SIZE大的原因？

不太会，我也发了一个面扫的图片，你看看是不是很清楚？我用的是比较大的spotsize了。一般用低倍拍摄的时候所用的spotsize就可以。
我觉得可能和导电性能或者工作距离有关。

由可能，我拍照的时候SPOTSIZE一般用到6,而能谱的时候至少都要用到12,1000倍左右就差不多要漂移了！

我用的能谱好像不需要这么增大，难道你的能谱有特殊要求吗？你可以问问工程师，打个电话就是了。

我们的电镜电压比较小，最大才20KV，这个应该是一个很大的原因吧，你做能谱的时候用多大的加速电压啊？还有一个应该是导电率的原因吧。

我们最大到30kev，但一般都是20kev就够了。导电率的原因觉得不太可能，因为照经验，如果SEM能清晰可见，那么EDS得到的像也该没问题。看到你拍摄的其他样品，而且你说很少喷金，那么是这个问题的可能性不大

那你们的CPS有多少啊，我做能谱的时候一般都是2000左右，经常还要小一些。

我们用的也就是差不多这个数字，一般1500以上就可以了，可奇怪你用这么大的spotsize还这么小，是不是你们用的workdisance太大？工程师规定是多少呢？

那就要问问了，你们一般用多少啊？

我们一般用10.6 mm，这个不同的电镜和能谱不一样，你要试试看的，一般设定在最大计数的位置最好。