合轴也做了，貌似问题不大，从聚光镜光栏，gun shift，到beam tilt deflector,请问主要问题出在哪儿呢？

在低倍像模式下，只要物镜光阑的影子偏得不是太远就算正常。除非是合轴非常理想的电镜，否则会有点偏离。

以前用2010的时候，稍有点偏离，不太易察觉的那种，但是这次偏的还是太远了几乎跑到视野之外去了。

试了试选区衍射，问题依旧(见本版另贴），合轴完了也还是不行，在高倍下作选区的时候，找不到透射斑，原来是被选区光栏挡住了，移动选区光栏或者散开电子束都可以，问题是问什么偏离中心这么远？这个问题跟物镜光栏的位置的问题感觉是一个问题，所以放在这里大家讨论一下。

这里面的两个原因是我自己分析的，中间镜的问题我怀疑是中间镜对中有问题，所以由成像转向衍射的时候出现偏差。但是不知道问题该怎么解决，合轴作了，但是改善不大。

还是没看懂。你是在衍射模式下逐渐会聚光束，还是在成像模式？SAED是指选区衍射谱，还是选区衍射光阑？

你一直说偏离很远，但到底远到什么程度？最好给些量化信息，把实验参数说一下。这样才好判断你遇到的情况是不是属于反常。

选区光阑在成像模式，透射斑点在衍射模式，怎么可能选区光阑把透射斑点挡住呢？

但是光总是要从选区光栏的位置过的，正常情况下是不应该挡上的，我这里可能就是偏离太多了。偏离的多少，可以这样描述吧，就是在成像模式下，光是恰好满屏在8万倍，然后用最大的选区光栏，进入衍射模式之后，中心斑就只能看见一点点，改变相机常数，变化不是太大。

这么小？对应于中间镜的电流值没有问题吧？要不是选区光阑错位了？

但是从成像模式看，光栏的位置似乎正常，其出现在中心附近，很容易调节，但是一转到衍射模式，中心斑点就能给挡去一大半。