没有样品的时候抽真空一般都是很快的啊，如果现在连没有样品时都很慢就能说明是仪器的问题啊。

嗯，道理其实很简单，想多了

样品有没有镶嵌？如果镶嵌不好，镶嵌料会放气，导致抽真空慢。我曾经遇到过这种事例。

也有可能吧，可是楼主已经排除样品的原因了。

大家有沒有想過抽真空時間變長不僅僅是由於樣本和真空泄漏的問題﹐還有一個電子泄漏的問題﹗﹗﹗﹗﹗

具体解释一下吧，我掏掏耳朵先。

高真空是由高真空表(PENNING)讀出的﹐PENNING由三部份構成﹐一是永磁體提供強大的磁場﹐二是懸空的真空探針測量遊離的氣體分子﹐三是模擬傳數字電路。
隨著污染的增加﹐真空探針底部開始慢慢地向地導電﹐形成一個微小的泄漏電流﹐這樣實際上探針讀到的電流數﹐也就是將要被模數轉換電路讀成真空讀數的電流數﹐就會比應該得到的讀數要大。
也就是說這時候的真空讀數要比真實的真空讀數要低的多﹐這就是我說的電子泄漏。
解決辦法是用砂紙清潔PENNING的機械部份。

后面的处理方法有点不明白。
前面是不是说Pirani真空计就会底线真空值飘高? 我们只是调节一下Pirani的底线值。
前面楼主已经说工程师提到这个毛病，是不是这个意思？还有，是不是只有日本电子的机器才有这种情况？

PARANI是低真空表﹐只能量到10E-003MBAR﹐PENNING是高真空表﹐可以量到10E-007MBAR。
PENNING中的電子泄漏是由於導電性的污染物造成的﹐像積炭。
我一般用砂紙去掉PENING機械部件上面的污染物﹐也就達到消除電子泄漏的目的了。
所有電鏡廠家都採用PENNING做高真空表﹐PENNING的廠商不同﹐但原理都一樣。
如果個位從來沒有清潔過PENNING的話﹐建議一試﹐會有意想不到的收穫呦
小心那根懸空的探針﹐不要使大力。

不知道你是那个仪器厂商的电镜？我使用的是JEOL-JSM5600LV的，以前出现过抽真空异常的现象，是仪器的有一个控制电板上的按钮出现松动了，经日本电子的维修工程师电话指导，很快解决了问题，你不妨电话咨询一下。