学无止境啊，活到老，学到老

看了这么多，总算明白点了。

XPS是用Proton-induced X-ray Fluorescence（光致X荧光）的原理。入射X射线使样品原子芯电离从而产生特征X射线。

SEM-EDX分析也是通过特征X射线来分析 当作SEM-EDX分析的时候SEM实际上相当于一个电子探针 入射电子束使样品原子芯电离从而产生特征X射线。

我以前是学量子化学的 对理论问题比较有兴趣

还是不是很清楚呢

厉害,对原理方面的我知道的很少

EDS（也可称作EDX）与XPS都可以测定样品中的元素

EDS可以进行样品中化学元素的判定，但不能给出元素化学状态信息。因为EDS一般与SEM或TEM联用，所用可以在观察样品形貌的同时做选定位置的元素测定

XPS用作样品表面元素的分析，可以判断出元素的化学状态。


xps
eds

谢谢啊 。。。

从网上搜到的一些资料，希望有帮助：
XPS（X射线光电子能谱）的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图。从而获得试样有关信息。X射线光电子能谱因对化学分析最有用，因此被称为化学分析用电子能谱（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）。
　　其主要应用：1，元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以为的所有元素。
　　2，元素的定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。
　　3，固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。
　　4，化合物的结构。可以对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布方面的信息。
　　5，分子生物学中的应用。

谢谢各位朋友

EDS Energy Dispersive Spectrometer
EDX是啥的所写？我一直觉得是谬传...