各个厂家的ICP-MS您都用过，真的是业界大拿了！哈哈，何必来这里当托儿呢！自毁清誉

个人认为，多晶硅分析的方法开发和售后服务确实是很重要的。
Agilent的ICPMS在设计之初就是针对当时日本半导体行业的大量需求，后来才逐步拓展的其他应用领域。因此很多全球知名的日本半导体行业最早用的就是Agilent的ICPMS。由于Agilent进入这个行业是最早的，所以其对相关行业更加了解，这样在采购ICPMS的同时，Agilent能给用户很多专业的建议和指导。而这一点对于半导体行业是较为看重的。
而PerkinElmer最近几年意识到了这一点，所以加大了对半导体行业的售后服务力度，他们在上海还专门有一个半导体级的超洁净实验室，并有专门的技术工程师为用户建立分析平台，答疑解惑。大部分半导体用户都希望在买回仪器的同时快速将其转化为生产力（即能快速用于样品分析）。所以这几年PE在这个领域发展的很快，市场占有率也增大不少。
倒是Thermo在售后服务一直没有跟上，造成了这块短板太短，所以在半导体这个行业一直被边缘化。

看着怎么这么像给某个公司做广告啊？建议版主调查一下，仪器公司的人不适合来做专家。

同意前两点，Agilent的ICP-MS在日本生产，生产厂家是横河仪器；PE确实也是在上海由相关的实验室，看到过最近发表的一篇文献，采用的标准硅片就是PE上海实验室提供的；对Thermo情况不太清楚......

我也是多晶硅行业的，刚用Thermo仪器大概一周，感觉对P和轻金属的测量不太满意，尤其是P，Thermo的意思是无法解决，很是失望，不知道同行中有何建议，大家可以交流下。

有专家做过比较 热电的X2是有优势的 我们买过两台

楼上各位专家，欢迎各位热烈讨论。
不过，作为斑竹，俺也申明两点：
第一，不要动不动就说别人是托；
第二，也不要对某些论点的阐述过于简单，最好指明出处，或简单说明情况。

比如楼上说“有专家做过比较……”，希望能说明文献出处，或者说明一下大致比较内容。这样说服力会高很多。
俺们都是做实验的，以事实、数据说话。

highspeed_v似乎有些反应过度。专家不是斑竹招的，由信息网把关。

开心讲的关于AGILENT在半导体的情况和PE最近对于半导体的投入，就我个人听到、看到的，基本是事实。

不过开心讲的PE这几年在半导体市场占有率增大不少，这个结论还需要相关证据。

同意楼主，我也是用热电的，感觉确实P不太好，曲线做得可以，扫出来空白的也有40多个ppb，很苦恼，我们现在都用ICP-AES测P了，不测金属元素MS都不开，有点浪费，哎！

ICP-MS对轻质量元素有质量歧视作用，P属于其中一个。对于P的测定，个人建议用ICP-AES比较好。