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  • 第31楼2005/12/02

    高手，我想问一下！它表面上的颗粒可以用什么方法确认？做EDs????

    threedaysin 发表:啊？你说3mm太短是说wd降的过低了？如果不低真的看不清啊
    最近我又尝试把束流加大了，并且使用了OL aperture WOBB，进一步调整聚焦但高倍下还是不容易看清楚，当然喷金没喷好也是有关系的吧，那些比较细的地方肯定喷不到了
    我也没辙了，功夫不到家啊，毕竟是初学者，我理论方面了解的不多，各位踊跃给与指导啊

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  • 第33楼2005/12/05

    这个颗粒是微粒本身带的，他们就是要看清楚微粒表面的这些颗粒，应该是二氧化硅。
    另外你们可以看到这个微粒本身是由无数个小微粒聚集成的，所以是微粒中看微粒，非常高难度的

    saintchen 发表:日本电子的场发射?应该能比这个清楚很多.既然喷了金,加速电压可以再高点,spotsize 可调,就在参数调节截面上,有个选择spotsize的地方.一般调到7或8的位置即可.
    喷金时间不要太长,否则不知道这个颗粒的表面是本来面目还是金颗粒了.

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  • 第34楼2005/12/05

    问题是我知道这些颗粒是什么阿，你是说你也有类似的问题？而且你想确认这些东西是什么吗？那我告诉你，用EDS是不行的，EDS我这边的最大倍数是3000倍，这个倍数下采用点测量的测量区域，相对于表面的颗粒也是很大了。

    除非你可以保证你一点下去，就点在了颗粒上，而不是下面的表面。

    konglingdong 发表:高手，我想问一下！它表面上的颗粒可以用什么方法确认？做EDs????

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  • 第35楼2005/12/06

    什么叫spot size? 就是电子束斑直径尺寸。

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  • 第36楼2005/12/06

    原来是场发射啊，难怪这么高的倍数还有的效果，羡慕啊～～

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  • 第37楼2005/12/31

    哈哈，谢谢各位了，来来真的要多学习啊。

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  • 第38楼2005/12/31

    应助达人

    同意你的观点，金相的颗粒在这个倍数应该可以看见了

    sunnysky 发表:从照片上看，表面的微粒像是喷金过厚形成的

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