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rabbityt
第173楼2011/07/13
那您后来对中调好了吗，我们一台扫描电镜也是，可能被外人碰到了那个镜筒外面的光阑调节旋钮（不知道是不是就是您说的那个xy），然后图像变成了一直只能看到一个角。工程师跟我说要调物镜光阑，可是我也不会调～你那个调好了的话能不能也教教我？万分感谢啦～～
mmctem(mmctem) 发表:刚刚接手6330SEM的管理，请问能不能给介绍一下对中的详细过程，从电子枪开始？别人说的是把电流提高，然后调x-y使亮度最大，物镜光栏对中是调X-y使中心晃动最小，但是挑了半天好像没有什么变化？聚焦时图像还是偏移很远，明显对中不行，能否给详细解释一下，或者发给个相关材料也行：wane.li@yahoo.com, 多谢！！
补充一下，在做gun alignment时，按照操作规程，应该是提高probe current 到14，然后调节至最亮，而且从7升到14的过程中，图像应该是逐渐变亮的，但是我现在看到的正好相反，probe current 7-14图像变暗，而且在14进行对中时，图像亮暗变化不明显。所以不容易找中心。最终图像质量也肯定不会太好了。
多谢指教！
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tianyuczc
第175楼2011/07/15
你好，我们公司用的是5510lv电镜，最近烧灯丝很厉害，基本上一天不到就烧了，是钨灯丝，前段时间抽真空很慢或者干脆不抽，换了灯丝那里的密封圈后好了，但是还是烧灯丝，而且现在拍的图片很不清楚，4000倍的时候就已经开始模糊了，我们用的是22KV，79PA的电流电压，请问这可能是什么问题？
sunnysky(sunnysky) 发表:本人是日本电子工程师，很久以来一直有个想法，想做个维修的专贴，怎奈种种原因未能实现，现在鼓起勇气来做这个帖子，希望要沉下去。希望大家说明问题时，要具体些，说明机器型号，图像故障要有照片。本帖只讨论日本电子电镜问题，大家要看清楚再进。本帖是纯技术贴，不要询价。我会尽快为大家回复。多谢！
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sunnysky
第178楼2011/07/18
检测真空可以用潘宁规也可以用检漏仪。关机以后再开机等几分钟真空启动应是正常的，系统会做一些自检。烧灯丝和图像不清楚，恐怕要做镜筒清洗了，更换各种光阑。老机器恐怕反油比较厉害。
tianyuczc(tianyuczc) 发表:你好，我们用的是JSM-5510LV电镜，用的钨灯丝，最近总是频繁烧灯丝，基本上一天一个，烧掉后连那个维氏帽里面也是黑的，我们怀疑是漏真空了，但是又没办法检查，上面的密封圈也换过了，请问怎么检查是否漏真空？还有就是如果我们关机后再开机，要过几分钟才会开始抽真空，这是不是与后面那个时间继电器有关系？还有就是现在拍的图像也不清楚，4000倍的时候就已经开始模糊了，有时候还会有波纹，这个怎么调节啊？
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sunnysky
第179楼2011/07/18
换光阑要破真空，每种机型的光阑型号都是一定的，有的可以互换，光阑一般有三或四个孔，可以根据需要调整。调整方法，用文字描述的话恐怕也很难理解，最好你能去其它地方培训一下，或让工程师培训。
rabbityt(rabbityt) 发表:感谢lz开这个贴，给我们一些操作菜鸟雪中送炭啊～～有个问题想请教您，是关于光阑合轴的问题，光阑合轴的具体详细操作我已经问了之前发贴的那个人，不知道他会不会回。另外光阑这个我也不是很懂啊，看到很多查到的贴上都说光阑要大概一年换一次，怎么换呢，光阑不是在镜筒的中间吗，另外光阑还有大小之分的吧，如果确定用多大的光阑呢，另外，如果调光阑大小呢？我看我们那台仪器一直买回来就没有换过光阑，也没有调过光阑。。。主要也是没有人懂。。囧。。谢谢楼主～～～这么好的贴一定顶的，不让它沉下去！