在说明书里，有每KV用多少LC电流，不在这个范围里容易烧。所以注意下LC电流，每个级别LC电流使用的参数都不一样的。

]

您说的是SEI象吧，是不是没检查BEI象呢? 请检查一下BEI象，和以前的图像对比一下，看看是不是也出现您说的现象，这个方法是通过电镜原理和排除法来确定问题的源头，我们在网上等您的回复[/quote]

原则上时ss越小，分辨率越高。但图像饱和性差，一般拍高倍都是ss很小的。首先你拍不清楚，是否是像散或对中没搞好？其次会不会你这边样品本身有问题吗？

感谢楼主的热心，让偶们这些从事SEM的同行间有了相互技术交流。
楼主可以告知您的联系方式么？
偶的QQ：93027537。
谢谢！

sunnysky(sunnysky) 发表:本人是日本电子工程师，很久以来一直有个想法，想做个维修的专贴，怎奈种种原因未能实现，现在鼓起勇气来做这个帖子，希望要沉下去。希望大家说明问题时，要具体些，说明机器型号，图像故障要有照片。本帖只讨论日本电子电镜问题，大家要看清楚再进。本帖是纯技术贴，不要询价。我会尽快为大家回复。多谢！

楼主你好 想问下我们这里SEM突然没有SEM图像了，OM还正常，换了个翻新的直流电源板(DCPS)结果图像有时候有，有时候没有，请帮忙列举可能的原因，谢谢了

我的QQ：394241534，不过我并不总在线

如果只和这个板有关的话，测一下这个板的输入交流是否正常，输出是否稳定，有没有交流成分。

楼主您好,我们的SEM是JSM5600,用了差不多十年.
现在各种状况,抽真空要20多分钟,有时候看着样品突然漏气,要等一会儿才能继续打开电子枪观看样品.
请问有没有JSM5600的相关资料可以传给我,谢谢!

用其他品牌仪器都可以，但日本的，真心的，，抵制日货，勿忘国耻。但楼主的好意，在此表示感谢。

在此斗胆真心建议工程师换个头像，头像真心像个日本武士。别无它意。

突然漏气什么意思？是突然破真空到大气状态吗？抽真空慢有很多原因，需要好好检查一下。我手上没有相关资料，抱歉。