我们的电镜是6390A，前两天出现灯丝烧断，更换新灯丝后，打开高压进行电子枪对中时又出现灯丝烧断，然后再取出又换一个新灯丝，结果还是一样，不对中，加灯丝电流过时也是出现灯丝烧断对话框，咨询过工程师，让查一下保险丝，保险丝是正常的，请问会是什么问题呢，请帮忙解答，现在公司有很多急样等着分析，电镜这样急啊，谢谢大侠了！

灯丝垫圈装了么？灯丝尖可不能从栅极帽孔突出来？

垫圈装了啊

那就关键是，你再看看灯丝是真断了么？灯丝没断，但是系统报“断了”的情况，有可能是灯丝没装好，或者栅极帽往电子枪上装的时候装错了，正好差了90度

电镜是6510的，这两天出现了如图所示的情况，在小倍数下，右边有个框框，大倍数下就没了，是不是灯丝偏了，还是探头那里的部件偏了，该怎么办呢 ？另外，怎么清洁样品室呢？谢谢

您看到的是BEI探头的轮廓，BEI探头中心有个圆孔，这个圆孔应该和物镜极靴圆孔同轴，原则上四个角都应该是均匀的弧边。如果BEI探头稍微有一点偏，那么四个角的弧边就会不均匀，您这个情况我感觉偏的稍微有点大，关高压，放气，戴上手套，调试一下BEI探头的位置，使探头归位，您会有一种“入坑”的感觉，还会听见“咔哒”一声，BEI探头基本就归位了

zml88cat(zml88cat) 发表:电镜是6510的，这两天出现了如图所示的情况，在小倍数下，右边有个框框，大倍数下就没了，是不是灯丝偏了，还是探头那里的部件偏了，该怎么办呢 ？另外，怎么清洁样品室呢？谢谢

调的时候可别去动GUN ALIGMENT和物镜光阑呵，会加大调试难度的。

好的，谢谢啊 ，我试试去

首先，束斑直径都50了，信噪比为什么还不大呢，噪音很大啊，在这，大EDS时，采集速率也不大，什么原因呢这是？

物镜光阑对中和枪对中没有做好，请再做一遍。另外，最低倍数的时候，视野除四角外有一点阴影外，不应有任何遮挡。