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  • 第11楼2005/12/12

    10000倍以下，应该没有问题，但是高倍情况下，机械振动，还有信号接收等问题的存在，无法生成良好图像，那么降低wd可以改善图像效果。

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  • 第12楼2005/12/14

    看要求，我只清楚用背散射探头时工作距离一定要大于10会安全点，其他只要不撞到探头（WD＞0）都是安全的，而且还会有报警，一般都不会有什么问题。我们就经常在Inlens下用2。

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  • 第13楼2005/12/15

    选择工作距离一般考虑两个因素：
    1、分辨率 在要求较高分辨率或放大倍数时，应减小工作距离。
    2、景深 在需要大景深，低放大倍数时应增大工作距离。
    较小的工作距离，一般钨灯丝电镜可选5mm左右，场发射可选2-3mm。
    在用较小的工作距离时，样品移动、更换时一定要注意不要撞到物镜，有的电镜物镜是很娇气的，碰到后容易产生零件变形，影响仪器性能。带有CCD的电镜在改变工作距离时应该用CCD观察。

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  • 第14楼2005/12/15

    精彩！另外请问为什么‘较小的工作距离，一般钨灯丝电镜可选5mm左右，场发射可选2-3mm。’

    zemb 发表:选择工作距离一般考虑两个因素：
    1、分辨率 在要求较高分辨率或放大倍数时，应减小工作距离。
    2、景深 在需要大景深，低放大倍数时应增大工作距离。
    较小的工作距离，一般钨灯丝电镜可选5mm左右，场发射可选2-3mm。
    在用较小的工作距离时，样品移动、更换时一定要注意不要撞到物镜，有的电镜物镜是很娇气的，碰到后容易产生零件变形，影响仪器性能。带有CCD的电镜在改变工作距离时应该用CCD观察。

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  • 第15楼2005/12/15

    各种电镜都有个最佳的工作距离，大概在这个范围，SEM做分辨率检验的时候，就在这个数值附近。

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  • 第16楼2005/12/27

    每种型号的SEM都有自己的最小WD吧？

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  • 第17楼2005/12/31

    我们常用的是10mm,不过要是放大倍数大（比如1000以上）可适当调近些，最好不要小于3mm

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  • 第18楼2006/01/05

    我想各位说的都有点出入，好象WD大小没什么关系吧！主要是样品和枪头的距离。SEM 里的WD 其实是焦距 样品才是最主要的 ，我用SEM从来都是先调样品和枪头的距离也就是Z族，再选WD。我几乎每天都要用到WD=3MM的情况

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  • 第19楼2006/01/05

    如果有错误请大家指教 谢谢~！

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  • 第20楼2007/05/29

    是老手了可以在５-１０mm之间，不过我的还是１１mm，还是保守一点安全

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