我觉得转不转角看情况,有时不转角也可以做EDS,但是有时基数太低就不能做,转角后会有明显增强。
TEM_ABC 发表:这个问题太简单了,在什么模式下都可以做能谱,问题只是空间分辨率和计数率的要求。JEOL单独设一个EDS模式,FEI对应的是纳米模式,只不过叫法不同而已。另外,样品倾转(F20大约15度)也不是必需,但你会看到计数率明显的改进,特别当光束很小的时候。半导体多层结构不允许样品倾转,也照用无妨。
无论TEM还是STEM都可做EDX。在F20上,STEM是纳米模式,故效果上与TEM纳米模式没有什么原则不同,只是更方便你控制光束在样品上的位置。