我们的FEI TECNAI TEM, 热场,可用钨丝或LAB6,是用的三级泵:机械泵(1),油扩散泵(1),离子泵(3)

配备LaB6的热场扫描电镜也会使用离子泵保持电子枪的高真空

钨灯丝的当然没必要用IGP了,在那么低的真空度时IGP很容易过载的,而且效率很低的.呵呵

可笑， 什么叫过载呢， 所有的离子泵 都是加在 分子泵或扩散泵基础上的， LAB6和场发射的也不例外， 过载实在是无从谈起。

没有什么神秘的， 钨灯丝镜筒 上部 加离子泵， 20年前就已经存在， 好处显而易见， 是专门为 大用量的能谱系统设计的， 可以 很好地改善 电子束的 稳定性，延长灯丝寿命。

你的意思是不是说能谱必须在很高的真空下用？低真空时不能用吗？环扫下不能用吗？看来能谱厂家得改改了，要不然怎么卖啊

你们都把我说糊涂了......
我了解的能谱仪是不依赖电镜的真空度的，不论在高真空、低真空还是环境真空都可工作。
一般的能谱仪不带真空泵，有的能谱仪为了维持其冷却系统的局部真空，加了一个离子泵，但能谱仪的真空和电镜的真空是没有联系的。
这些厂家都设计好了，所以不必担心能谱仪会不会工作。

renxin版主说的是电镜的真空吧，关于低真空使用能谱可以看看这个帖子：
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20050901/215351/

能谱分析需要稳定的发射束流,越高的真空度对电子束流的稳定有好处.看过有关资料,说冷场发射枪的束流不如热场发射枪束流稳定,对于能谱分析,热场好于冷场,其中道理好象相似.

正是， 您百分百理解我的意思， 能 谱的稳定性是 我们 很容易忽视的， 电子束的稳定性 是 能谱稳定性的关键所在。