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  • will6551

    第11楼2011/05/05

    如果電阻異常就表示該物件壞了
    需要查到保險絲那就表示電阻都正常
    您的四極柱加熱電阻只有10歐姆很明顯已經有問題了

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  • qilong-1

    第12楼2011/05/05

    你一定是仪器工程师了吧。确实如你所述——需要查到保险管时那就表明电阻都正常。

    图上所标示仅是理论值。

    我四级杆加热电阻是110欧姆(绿色线),四级杆温度传感器电阻是10欧姆(白色线)。
    离子源加热电阻是110欧姆(绿色线),离子源温度传感器电阻是无穷大(白色线)——断路。

    我检查保险管还由于仪器在卸真空时报错——涡轮泵还未停止,仪器就报放空完成。
    我们仪器明天下午维修,我还想到时好好向工程师请教一下四个保险管所起的作用呢。你能先帮我讲解一下吗?也给大家分享一下。谢谢!

    will6551(will6551) 发表:如果電阻異常就表示該物件壞了
    需要查到保險絲那就表示電阻都正常
    您的四極柱加熱電阻只有10歐姆很明顯已經有問題了

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  • qilong-1

    第13楼2011/05/05

    感谢Capinter帮我把附件给贴出来。非常感谢!

    新窦(capinter) 发表:感谢楼主分享,替楼主把附件给贴出来了,期待后续的维修温度传感器过程。

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  • qilong-1

    第14楼2011/05/05

    我这边的情况,我估计是跟白线连接的传感器熔断了。同你情况相像。

    21個人(peiqilv) 发表:楼主的情况我碰到过,上次原因是离子源上的那个白色的线断了。

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  • 七宝

    第15楼2011/05/06

    希望看到你维修的整个过程...........

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  • dahua1981

    第17楼2011/05/07

    应助达人

    楼主辛苦了,前段时间我们也出过这个问题

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  • qilong-1

    第18楼2011/05/07

    不好意思,出错了。
    我四级杆加热电阻是10欧姆(绿色线),四级杆温度传感器电阻是110欧姆(白色线)。
    离子源加热电阻是20欧姆(绿色线),离子源温度传感器电阻是无穷大(白色
    线)——断路。

    qilong-1(qilong-1) 发表:你一定是仪器工程师了吧。确实如你所述——需要查到保险管时那就表明电阻都正常。

    图上所标示仅是理论值。

    我四级杆加热电阻是110欧姆(绿色线),四级杆温度传感器电阻是10欧姆(白色线)。
    离子源加热电阻是110欧姆(绿色线),离子源温度传感器电阻是无穷大(白色线)——断路。

    我检查保险管还由于仪器在卸真空时报错——涡轮泵还未停止,仪器就报放空完成。
    我们仪器明天下午维修,我还想到时好好向工程师请教一下四个保险管所起的作用呢。你能先帮我讲解一下吗?也给大家分享一下。谢谢!

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  • qilong-1

    第19楼2011/05/07


    工程师寄了备件,如图。如此前分析,问题出在白色温度传感器上。更换后,一切正常。
    温度传感器照片

    离子源温度加热部件照片,下次这个部件坏了,有的备件换了。

    更换好后安装好。开机


    四级杆开始升温,离子源温度显示正常。继续观察

    仪器所有参数一切正常。卸真空,关机仪器也一切正常。清洗离子源后,抽真空,暂时一切正常。下周一做样后看是否真无其他故障。

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  • symmacros

    第20楼2011/05/07

    应助达人

    谢谢楼主反馈结果,是离子源温度传感器故障了。

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  • yinina

    第21楼2011/05/07

    感谢楼主分享,图文并茂很详细

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