+关注 私聊

  • 德国工兵

    第19楼2006/07/17

    可以考虑K-T的或者AMAT的compass，这都是专门针对半导体的SEM，您所提到的要求都能满足，不过价格真的不菲

0
    +关注 私聊

  • victorr

    第20楼2006/07/18

    六楼不一定磁场不好，但振动大多是有问题的！

0
    +关注 私聊

  • wuweifeng214

    第21楼2006/07/19

    这个问题不是很专业的.

0
    +关注 私聊

  • 德国工兵

    第22楼2006/07/20

    可以借助第三方的软件，通过电镜实现大面积摄像，牛津的INCA软件里面有一个AUTOMATE软件可以对样品分区域扫描最后通过MONTAGE功能拼接成一副大图。

0
    +关注 私聊

  • 奔跑的蜗牛

    第23楼2008/01/09

    这个问题我倒也碰到过，其实里面的关键我经过仔细考虑觉得并不在于是否场发射或者场地，自动聚焦等功能的问题，而是样品台的精度问题。
    现在的SEM，钨灯丝的有点问题，因为这里需要灯丝的寿命比较长，分辨率不是问题，因为10nm的要求比较宽松了，自动功能也不是问题，一般的SEM都有这功能，但是，几万张甚至几百万张的图片视野是相当大的，需要多次移动样品台，在这种情况下，需要使用电子束偏移和图像对比自动识别边界来进行校正才能把图片的拼接精确度提上来，并不是目前各个厂商所提供的成型软件所能解决的问题了。

0
    +关注 私聊

  • jeremygg

    第24楼2008/01/28

    我知道有公司是专门做芯片在线检测的，扫描速度很快，还有专门的分析软件，分辨率也不错，这类电子显微镜有专门的名称，叫inspection或者reviewstation，但是价格都非常昂贵啊，都要几百万美金呢，一般用在半导体生产线上，你们有这方面的需求么，假如资金允许，可以考虑一下，我的邮箱是guo.xiaoli@gmail.com,查不到的话我可以提供几个公司名字，

0
    +关注 私聊

  • esem

    第25楼2008/01/28

    这也是问题所在，时间长了，视场多了不进行人工校准的话是要走偏的，尤其是第一张照片和同一列或同一行的最后一张照片在位置上相差是很多的。

    chenjianfeng 发表:这个问题我倒也碰到过，其实里面的关键我经过仔细考虑觉得并不在于是否场发射或者场地，自动聚焦等功能的问题，而是样品台的精度问题。
    现在的SEM，钨灯丝的有点问题，因为这里需要灯丝的寿命比较长，分辨率不是问题，因为10nm的要求比较宽松了，自动功能也不是问题，一般的SEM都有这功能，但是，几万张甚至几百万张的图片视野是相当大的，需要多次移动样品台，在这种情况下，需要使用电子束偏移和图像对比自动识别边界来进行校正才能把图片的拼接精确度提上来，并不是目前各个厂商所提供的成型软件所能解决的问题了。

0
    +关注 私聊

  • 春天的桃子

    第26楼2009/01/25

    听说过效果很好，但是没有用过

    shxie 发表:鉴于你要用来测试10nm的微区，那么场发射少不了了。
    磁场和振动的测试可以委托电镜厂商，当然也可以委托相应单位，比如上海市计量局就应该有相应的测试，你打114问一下他们的号码就是了。
    防震台的问题比较尴尬，我觉得为什么不能搬到一楼？10nm的分辨率即使用防震台也未必效果太好吧？国内有代理防震台的，在本版的采购交流里面有一个代理：
    http://www.instrument.com.cn/bbs/forum_407.htm，你可以找找看。
    国外的防震台也有，不过要5万美金吧，复旦大学材料系买过一台，用在透射上的，德国产品，据说效果还行。电话似乎是65642029，陈老师。

    至于2万倍一下的放大，对于场发射简直就是太简单了，如果有防震台，稳定性应该还可以吧。这些你都可以在找到厂家之后让他们给出专业意见。

    Good Luck！

0
    +关注 私聊

  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第27楼2009/02/15

    陈芝麻啊，想必您您这时还没在bru……

    tao______ 发表:可以借助第三方的软件，通过电镜实现大面积摄像，牛津的INCA软件里面有一个AUTOMATE软件可以对样品分区域扫描最后通过MONTAGE功能拼接成一副大图。

0
    +关注 私聊

  • sartre

    第28楼2009/03/16

    日立的电镜有这个功能
    你可以联系下天美公司。。。

    hpyao 发表:刚刚发现这个网站，欣喜ing！有一些疑问，敬请DX们赐教啊！

    我们的应用是芯片的检查，对分辨率要求不是很好，10nm足够了，但是对扫描速度和电流稳定性要求很高
    1) 我们需要对一块芯片进行全芯片的摄像，需要连续拍摄几万张高分辩率SEM图像的矩阵，要在一个合理的时间内完成，每张的扫描时间最好在10s以内。
    2) 几万张照片需要几十个甚至上百个小时的连续拍摄，必须要全自动，因此焦距必须很稳定，也就是电流要很稳定（也许一天停下来调2次焦距还是可以的）

    什么样的SEM能够最好地满足我们的需求呢？我们进行了很多调研，得到了一些信息，请DX们帮助判断是否正确：
    1)

    我们的场地是确定的，在六楼，震动、电磁都是问题，但是我们可以进行专门的装修和购买减震台
    1) 在上海我们找了很多单位都不能测试环境震动、电磁环境什么的，有什么专业的单位可以测？联系方法？价格几何？
    2) 用什么防震台比较好？对于2万倍以下的放大，震动问题是否很难解决？

    从电流稳定性方面考虑，FE－SEM是最佳选择，但是我们不需要很高分辨率，环境也达不到要求，买FE－SEM有些浪费；
    W－SEM电流稳定性很差，寿命甚至不能满足一次连续摄像，速度又慢，不能考虑
    LaB6－SEM对于我们的应用，是不是最好的选择？速度和FE-SEM不知道相差多少？

    以上问题确实很棘手，哪位DX对SEM方面比较了解，敬请和我联系：haiping.yao@gmail.com，139 1634 4697

    Thanks in advance!

    以来就问这么多，惭愧...不过真的是很急...

0
查看更多