多谢wuzl斑竹了,您的回答对我这种刚刚接触能谱仪的人帮助很多,太感谢了!
wuzl 发表: 一般认为常规XPS的检出限为0.1at%,但要根据各元素的不同能级的灵敏度因子来确定。其实含量0.1%的元素很难进行价态分析。XPS只能常量分析,除非萃取等手段提高元素含量。XPS绝对定量分析很难,一般只能作些相对组分分析(包括价态含量)。即使是相对量分析,也要特别注意,如本底扣除方法,需要有些理论知识和实际经验。
EDS和XPS的不同,分别叫做X射线能谱和X射线光电子能谱。激发方式和接受方式都不同。应用也有区别,前者用于体内(bulk)元素成分分析,后者用于表面(surface)元素组分和价态分析。等等。