liuxiuwei
第26楼2006/03/14
EDS是入射电子束与样品相互作用,激发原子内层电子跃迁,产生特征X射线他作为元素标识;因为是在电子束作用下的所以容易聚焦,适合作微区分析,定性分析,半定量分析;他它是和电镜配合在一起的,横向空间分辨率基本上取决于电子束束斑大小,比如~20nm的样品也能分析。EDS可以分析样品~100nm厚度的成分
XPS它是利用X射线打出原子的内层电子,一个光电效应的过程.既然是内层电子 当然可以用来标识元素 定性分析.而且很快.因为是用的X ray ,聚焦比较困难,反映的是整体特征,类似的有XRD。 适合于定性分析,定量分析,以及化合态的分析。横向分辨率取决于x射线到达样品上的束斑大小,等等一般横向分辨率可以达到50um甚至上百um。XPS一般只能分析~5nm厚度,最小分析直径15um。图象分辨率2um左右。
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