asahi42
第21楼2012/04/13
区别啊?就拿您的例子来讲,不用减速的时候,电子发射是2kV时候的能量分散量;用了减速,电子发射是10kV的能量分散量,着陆到样品上还是2kV的电子能量,但是束斑会明显变小。(当然不会减8kV,Hitachi最大2.5kV,FEI最大4kV,Zeiss的是伪减速)电子枪亮度和电流密度由枪系统本身和加速电压决定,不会随着减速场的开启与否而变化。
zhadaoan
第22楼2012/04/15
看着您的解说,还有随着最近的学习,我明白了,高压发射然后减速到低压时与低压发射两种最终probe current相差无几,但高压发射时能量分散带来像差(准确的说是色差)很小几乎可以不考虑,故而进一步缩小了束斑,实现束流不变的情况下缩小束斑,提高分辨率,有种顿悟的感觉
呵呵,谢谢前辈了,最近好多问题都问的您,谢谢您的无私分享,呵呵