应助达人

当然，这种提问基本无效，因为没有反馈

其他电镜貌似也有这种现象。

===========不好意思，发表此求助帖后，连续几天看没什么反应，加上近期有点忙，就没上来了，所以没及时回复你， 感到非常抱歉。
工作距离稍大点也有此黑斑现象， 您知道的，像蔡司这种sem， 工作距离大了的话，它的inlens探头的二次电子信号很弱的。

============不好意思，此求助帖刚发出来的那几天，因回复的帖我感觉好像不太对，就没回复了，后一忙就没及时再上网了。非常抱歉啊！
您提到的合轴问题，我已经让供应商仔细地进行了机械合轴和电子合轴，但仍然有黑斑现象。 我们的日本电子的JSM6700 和FEI的450S Dual-Beam FIB/SEM上的低电压情况下在3万至5万倍下也有此黑斑现象。

=========不是灌胶镶嵌的样品。 不过因是半导体样品，导电性并不是纯金属那样好，但我们用2KV或5KV下拍照都不会charging放电。 仅仅0.5kv下几万倍的时候有此现象。

===========>>>>前几天我们尝试着改变一些条件，目前有所改善。
我们在日立的S-5200 Super-SEM 上样品台带冷阱的情况下用0.5KV测试，黑斑明显弱化；用另外一台也是带冷阱的日本电子的JSM7500 SEM确认液氮冷阱的效果,黑斑也不明显了。
另外我们动用FEI公司的450S Dual-Beam FIB-SEM,尝试改变束流由50pA---25pA---13pA---8pA逐渐减小， 发现黑斑也逐渐减弱， 到8pA时基本看不到黑斑了。

在解决此问题的时候，我听一位香港的做SEM资深人士说，SEM腔体内的有机污染物最好用等离子清洗机进行清理， 各位，有人听说过等离子Plasma清洗腔体的吗？ 目前我还没见过哪个供应商用此手段，只看到他们用吸尘器清理chamber内的污染物。
感谢大家的热情参与。

应助达人

终于有进展了。那看来就是碳沉积的问题。用等离子清洗器可以一定程度缓解，在上海FEI纳米港见过，两台，都已经装在电镜上。本版有个帖子专门介绍的，以前还是置顶的，可以站内搜索一下，好像是杭州一家公司代理的。

回复Fengyonghe老师：
这是一个巨磁阻产品，

fengyonghe(fengyonghe) 发表:

很大可能性的积碳问题，而你的关于日本电子和蔡司都有这个现象，解释是只要是高真空积碳问题都会存在

而你的关于为什么0.5kV明显，高压下不明显的解释是： 这种积碳现象多数在表面， 而电压越低表面信息越明显也就越容易看到这种黑方现象。电压越高表面信息“损失”掉所以不明显

而这种积碳现象一部分来源于样品本身以及样品与电子束作用，另一部分来源于样品室内部本身的碳积累，当电子束扫描时会诱导再沉积。 所以保持电镜长期干净度很重要，特别现在电镜分辨率越来越高，而大家很多样品都是往低压去走，配置一台高真空防污染装置的Plasma Cleaner是很有必要的啊

wbslandy(wbslandy) 发表: ============不好意思，此求助帖刚发出来的那几天，因回复的帖我感觉好像不太对，就没回复了，后一忙就没及时再上网了。非常抱歉啊！
您提到的合轴问题，我已经让供应商仔细地进行了机械合轴和电子合轴，但仍然有黑斑现象。 我们的日本电子的JSM6700 和FEI的450S Dual-Beam FIB/SEM上的低电压情况下在3万至5万倍下也有此黑斑现象。