应助达人
目前标准不多,标准物质不多,这个还需要多总结,不过厚度测定与测定的元素有关,轻元素的溅射率校正还存在问题,所以有一定的难度。
yonglinxu(yonglinxu) 发表:1、深度的计算过程,大家都知道每个位置的百分含量是如何求得的,请楼主具体介绍下从百分含量如何计算到镀层深度的,可以以某个样品为例?
这个内容太多,简单的说就是通过溅射率进行校正计算,从而达到不同基体共线性,也就是在相同的激发参数下,元素的溅射率是一样。归一化主要是进行求权重,计算含量和深度。
2、分辨率的问题,你认为DC及RF的深度方向分辨率能到多少,哪个更好?
按我的理解RF比DC要好一些。特别是脉冲测定能更薄。
3、启动电压稳定时间问题,你认为多长时间能达到完全稳定?
如果是DC测定总量一般30秒就差不多了。
4、样品极表面的准确度问题,由于刚开始分析时总是存在分析条件的稳定问题,带来极表面分析会有一定的偏差,你认为极表面准确性如何,这个偏差如何可以降至最低?样口最表面的多少厚度你认为是不可信的?
如果表面厚度很高,这个点的影响还是可以忽略不计,个人认为5NM以下数据可能存在一定的偏差。
5、样品表面处理问题,一般镀层样品表面你们是如何处理的,如果是酒精等擦洗后如何确保样品表面无残留碳等问题?
一般就是用乙醇或丙酮清洗,拿海绵擦一次比较好。风干就行。
6、文中说激发坑很平坦,跟激发之前相比如何,有没有具体的数据,对于纯物质及合金物质有没有做过试验,以及有没有进行分析前后的粗糙度测定的确认?
这个应该有个比较的,不同的激发条件的坑形状是不同的,所以涂层的参数一般是厂家优化的结果。粗糙度测定的确认这个有文献进行比较,用表面形貌仪可以确定。
7、文中说RF-GD而言,样品厚度和几何形状相当重要,如果RF发生器在样品前置是不是厚度和几何形状就无影响了?
样品大小可能耦合的时间会不同,前置和后置的却别可能在能量损失方面处理有些不同。
8、你认为样品激发次数达到多少以后需要进行灯口维护,激发多少次以后需要更换阳极,多少次需要更换绞刀,多少次需要更换袖套?
一般样品激发5000次(LECO)需要进行换阳极,但是灯口维护这个看激发坑情况,如果发黑就要维护。铰刀估计好多年都可以不换,袖套那玩意太容易坏,不靠谱,长短不一。
9、你认为设备的维护要哪些要点是要注意的?
主要是灯口注意维护和保护透镜、换油,还有小样品激发,容易发热,一定注意。
10、对于深度分析,在实际分析中如何才能保证镀层厚度测定的准确性?