小不董
第18楼2012/11/01
对这塑料样品,变形经常会遇到,有点不明白,你用场发射扫描是用的1.5KV,有镀金吗?是否有镀金与否的比较。对之类样品,我们比较过Nano系列效果没有Quanta系列拍摄效果好。现在我们用inspect系列。
另一个问题,钨丝扫描用20KV,束斑又是多少呢?20KV是否大了一点?WD都是5mm,好近,对样品损伤可能也比较大。
也是像你说的,场发射,而且是热场,电子能量比骄大,对样品的损伤会加剧,只有尽量镀金,导走电荷,减小电压,减小能量。再就是先调焦一个地方后,马上移到旁边,扫描未扫描过的地方成像,这样来减少样品由于损伤而成像不真实的结果。