聚光镜球差校正和物镜球差校正是根据TEM的光路结构来区分的。在TEM中，自上而下是聚光镜，物镜和后续放大系统。聚光镜的作用就是形成照明光线，物镜的作用是成像。在普通TEM成像模式中，使用的是近平行光照射，物镜的品质决定图像的质量。但是目前的物镜设计直接克服像差很困难。所以变通的方法是在物镜下面加一个校正器，对物镜形成的图像进行像差校正，校正后的图像再送给后续放大系统做进一步放大。这种校正器就是图像校正器。
现在在TEM中也可以使用会聚成探针形状的光斑在样品上扫描，逐点收集信号成像，也就是STEM（当然，现在也有专用的STEM电镜，不见得一定要在TEM里实现这种功能）。在STEM里，物镜的质量不重要，探针够不够精细决定图像质量，这个探针是由聚光镜系统把光会聚形成的。聚光镜系统把光会聚成一个普通的探针，这个探针受聚光镜像差的影响，不是很尖锐。在聚光镜下面再安装一个束斑校正器（聚光镜校正器），对探针进行修饰，使其形状更尖锐。修饰后的探针投射到样品上进行扫描。
因此，在SEM电镜中，只可能用到束斑校正器。当年用来进行概念验证的第一个有实际效果的校正器就是用在SEM上的。图像校正器需要把二维图像上每个点的像差进行校正，难度很大，而束斑校正器只需要照顾光轴上一个点的像差，因此可以针对这个点把像差消除得更彻底。不过，现在NION声称他们的束斑校正器在偏离光轴位置的消像差能力跟其它公司的产品相当，因此也能用做图像校正。不知实际效果如何。
目前的校正器应该还是使用多极电磁透镜，但是新产品上出现静电透镜也是完全有可能的，而且某些兼具消色差功能的校正器已经使用了多极静电－电磁混合透镜。

学习了，请问色差校正器现在有商业化么？

没见到量产的色差校正器，不过如果定做，估计那两个公司也敢接活儿。

谢谢蓝莓和闭眼老弟的参与。

特别是蓝莓回答很详细，不过最近在薄膜样品上面100V观察上面发现疑问，正在找原因。没有时间仔细研究，等搞清楚这个再来慢慢研究。

谢谢蓝莓和闭眼二位的参与

球差校正和消像散线圈有什么区别？都是束斑校正器也是多极电磁透镜。

像差有很多种，像散是其中的一种，球差是另一种。即便是同一种像差，其实也是分级别的，消像散线圈只能消除低级别的二次像散，高级别的消不掉。消除球差是件很困难的事情，以前的设备根本做不到。球差校正器其实不光能消球差，还能消除多种像差，包括高级别的像散，所以现在我都是尽量把这个东西叫作像差校正器。消像散线圈是个功能简单的像差校正器。

球差校正是透镜前校正还是透镜后校正？

束斑校正器在物镜之上，图像校正器在物镜之下。

物镜是不是应该是透镜？也就是聚光镜球差校正在聚光镜前

物镜球差校正在物镜之后？

那这样的话他们的作用就会不太一样吧

聚光镜球差校正是在聚光镜之后，物镜之前。图像校正是在物镜之后。33楼讲了几个透镜的顺序。