我见工程师也这么用手抹过，另外，我见真空仓内有很明显的黑色灰尘，也是用丙酮擦洗吗？

我见工程师也这么用手抹过，另外，我见真空仓内有很明显的黑色灰尘，也是用丙酮擦洗吗？[/quote]

工程师做的，不一定是全对的，不知道你说的是否安捷伦的工程师么？

这情况就如在学校读书，老师解答一道题，但却明显说错了，也能全信么？

真空仓内有很明显的黑色灰尘，肯定要清理了，用无尘纸+丙酮比较好，用棉签也行。

如果灰尘进入分子泵，那就出大问题了。请问你们的气质是5973老爷机么？

工程师做的，不一定是全对的，不知道你说的是否安捷伦的工程师么？

这情况就如在学校读书，老师解答一道题，但却明显说错了，也能全信么？

真空仓内有很明显的黑色灰尘，肯定要清理了，用无尘纸+丙酮比较好，用棉签也行。

如果灰尘进入分子泵，那就出大问题了。请问你们的气质是5973老爷机么？[/quote]

是吗，灰尘挺靠近涡轮泵的，不知哪来那么多灰尘，连四级杆（长的那根，是这么叫吗）外侧都是灰尘，难道是泵速升不上去我频繁开关的原因？我们用的是安捷伦的样机，5975c。

安捷伦的放气阀和舱门要确定关闭，我上次也是忘记这个了，

5975C还不算很老，应该是平时没维护，或者维护方法不对。赶紧处理，不然就要挂了。四级杆是四根平行的圆柱体。

楼主，你重点检查前级泵油是否足量、前级泵是否正常工作、MS和GC接口端是否漏气、重新开机时压侧板能否吸紧。根据你提供的信息，初步觉得你可能开机时未按侧板帮助真空腔吸紧侧板，或是你把MS接口端拧坏掉了，导致漏气真空上不去。

我先是只开的MS，前级泵也会影响涡轮泵是吗？开机时按侧板了的，难道接口被拧坏了？不会要换传输线吧？

检查发现放前级泵的托盘上有一层黄色的油迹，有挥发干的，还有液体的油，是否就是漏油？前级泵都放的很低，油位不好看吧。

明显是机械泵漏油了。。。如果机械泵漏油，也会影响GCMS的真空度的。。。没想到你这台GCMS那么多问题啊。。。

可是油位在低线以上高线以下啊，就是油比较黑，即使漏也是微漏吧，也会影响工作吗？另外，真空室内的黑色粉末会不会是真空泵抽进去的呢？