应助达人

更换没毛病，主要还是前期配置仪器设置气路的时候就必须把工作做好，或者的话就是进样口更换，连接不同的前处理设备，重新配置一下就OK!

我也不懂为啥不能拆，好像听说是之前工程安装的时候交待的，我刚来这家公司。其实吧，我的理解是，这个玩意只要是链接部件应该都能拆才对。

我心里也没底，所以来问问，实在不行我就直接打售后了。主要是我刚过来，这个仪器安装的时候我不在。这个仪器好像还在保修器内，我们主任说的是，只要不硬拆解，不伤到自己，随便怎么玩都可以！

不好请呀，机子还在保修器内，弄出故障工程师免费上门服务，但是要是直接让工程师来，人家一是没时间不愿意，另外一个是要花钱呀。所以我们主任说，随便我折腾，只要不硬拆零件或者伤到自己都行，搞坏了就叫工程师。。。

嗯，我再研究一下，主要是之前买仪器装机的时候我还没入职，我也是刚到这家公司。我觉得也是可以随便换，只要配置好就行。

你们主任真好，有这种机会你赶紧利用。
你先看一看仪器的原理图和气路图，然后顺着管路摸一遍，把气路理清楚，慢慢拆，能学到不少东西的。
不过要注意接头的密封圈，有些是不锈钢卡套，是一次性的，拆开重连就要换新的密封圈。

应助达人

所有管路密封件带锥箍都是一样，拧好后锥箍卡死，取不下来，硬取下来的基本也用不成，如果要换管线都要重新安装新的密封件，保证密封品质。

应助达人

你咨询工程师后再自己动手，搞不定的再给工程师打电话，只要领导给你动手的权利，就好好用。

应助达人

进样口是通用的

应助达人

在主机面板上有键盘可以查询EPC的气体兼容类型的，如果包含了氮气，氢气和氦气，自然就是可以多种气体使用了。