磨剪子嘞 锵菜刀
第11楼2007/08/09
首先,电子束和样品作用的关系(以20Kv加速电压的铜样品为例),电子束在样品内作用大致呈"梨"型(大致上厚度1.5微米;宽度1微米左右,当然扫描时间越短形状越小).这样也就是说在电子束激发样品的时候,X射线产生的区域为样品表面至1.5微米深,左右范围近似一微米.以上所说都是电子束在样品上一点的作用效果.
因此,即便二次电子的分辨率达到1nm,电子束作用在样品上其X射线的激发区域也是很大的,大致1个微米的分辨能力.
另外,在透射电镜中样品多为非常薄的样品,其X射线的激发不存在上述的"梨"型效果,样品的X射线激发区域分辨率能够达到2nm远远小于SEM的1个微米;建议您用投射看颗粒.个人拙见,请大侠指点.
PS:哪位大侠有Electron Flight Simulator软件能不能上传一份让大家分享啊,多谢了.
happydfli
第12楼2007/08/09
共工
第14楼2007/08/16
说得不全对。
CU的电子作用范围绝对不会是梨形的。
共工
第15楼2007/08/16
打住,此言差矣,严格地讲大错特错。 实在不敢相信您在如此错误的概念下操作。
束斑的大小和电子束的聚焦好坏毫无关系。大束斑和小束斑都可以得到聚焦的图像。
加速电压高低和束斑大小更无瓜葛。
加速电压高,分辨率高是不错,但不是由于提高了加速电压而缩小了束斑尺寸的原因。
看来国内的电镜理论很混淆,以讹传讹真是不假。
semoperator
第18楼2007/08/17
呵呵,言论自由!但见解最好要正确呀,我看了您对我的回复,就按你的说法给我的同事讲解了,但后来经RENXIN指正,查了查教科书,才觉得您说的确实不妥呀。
提高加速电压可以缩短电子波长,从而提高分辨率。
不同的加速电压和束斑大小无直接关系,后者好像是受聚光镜光阑所控制的。
不知以上说法对否?