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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第11楼2007/08/09

    首先,电子束和样品作用的关系(以20Kv加速电压的铜样品为例),电子束在样品内作用大致呈"梨"型(大致上厚度1.5微米;宽度1微米左右,当然扫描时间越短形状越小).这样也就是说在电子束激发样品的时候,X射线产生的区域为样品表面至1.5微米深,左右范围近似一微米.以上所说都是电子束在样品上一点的作用效果.
    因此,即便二次电子的分辨率达到1nm,电子束作用在样品上其X射线的激发区域也是很大的,大致1个微米的分辨能力.
    另外,在透射电镜中样品多为非常薄的样品,其X射线的激发不存在上述的"梨"型效果,样品的X射线激发区域分辨率能够达到2nm远远小于SEM的1个微米;建议您用投射看颗粒.个人拙见,请大侠指点.
    PS:哪位大侠有Electron Flight Simulator软件能不能上传一份让大家分享啊,多谢了.

    anite1984 发表:同问~

    听做电镜的老师说,用SEM配的EDS打成分,只适用于颗粒大于多少的样品(记不清了)
    有哪位大侠能告知吗?

    TEM 中能谱是不是有同样的限制呢?

    谢谢谢谢

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  • happydfli

    第12楼2007/08/09

    amoslau 发表:首先,电子束和样品作用的关系(以20Kv加速电压的铜样品为例),电子束在样品内作用大致呈"梨"型(大致上厚度1.5微米;宽度1微米左右,当然扫描时间越短形状越小).这样也就是说在电子束激发样品的时候,X射线产生的区域为样品表面至1.5微米深,左右范围近似一微米.以上所说都是电子束在样品上一点的作用效果.
    因此,即便二次电子的分辨率达到1nm,电子束作用在样品上其X射线的激发区域也是很大的,大致1个微米的分辨能力.
    另外,在透射电镜中样品多为非常薄的样品,其X射线的激发不存在上述的"梨"型效果,样品的X射线激发区域分辨率能够达到2nm远远小于SEM的1个微米;建议您用投射看颗粒.个人拙见,请大侠指点.
    PS:哪位大侠有Electron Flight Simulator软件能不能上传一份让大家分享啊,多谢了.

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第13楼2007/08/10

    [quote]原文由 happydfli 发表:请看以下连接,我以前发过类似的帖子,里面有monte carlo模拟软件,

    http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20061126/642934/


    正在下载。
    谢谢,很感谢,非常感谢!

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    第14楼2007/08/16

    说得不全对。
    CU的电子作用范围绝对不会是梨形的。

    amoslau 发表:首先,电子束和样品作用的关系(以20Kv加速电压的铜样品为例),电子束在样品内作用大致呈"梨"型(大致上厚度1.5微米;宽度1微米左右,当然扫描时间越短形状越小).这样也就是说在电子束激发样品的时候,X射线产生的区域为样品表面至1.5微米深,左右范围近似一微米.以上所说都是电子束在样品上一点的作用效果.
    因此,即便二次电子的分辨率达到1nm,电子束作用在样品上其X射线的激发区域也是很大的,大致1个微米的分辨能力.
    另外,在透射电镜中样品多为非常薄的样品,其X射线的激发不存在上述的"梨"型效果,样品的X射线激发区域分辨率能够达到2nm远远小于SEM的1个微米;建议您用投射看颗粒.个人拙见,请大侠指点.
    PS:哪位大侠有Electron Flight Simulator软件能不能上传一份让大家分享啊,多谢了.

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    第15楼2007/08/16

    打住,此言差矣,严格地讲大错特错。 实在不敢相信您在如此错误的概念下操作。

    束斑的大小和电子束的聚焦好坏毫无关系。大束斑和小束斑都可以得到聚焦的图像。

    加速电压高低和束斑大小更无瓜葛。

    加速电压高,分辨率高是不错,但不是由于提高了加速电压而缩小了束斑尺寸的原因。

    看来国内的电镜理论很混淆,以讹传讹真是不假。

    zemb 发表:楼上说的是。
    你分析颗粒成分的时候用的是定点方式(点扫描),此时电子束打在一点是不动的。与扫描范围、放大倍数无关。以上所说的电子束与样品的作用范围,也只是考虑一个点,而不是在某放大倍数的扫描范围。

    X射线的产生范围主要与加速电压、原子序数等有关。一般情况下束斑直径远小于这个尺寸,可以忽略不计。
    束斑的大小实际上是表示电子束聚焦程度的好坏。加速电压越高更利于电子束的汇聚,束斑可能更小,这就是为什么提高加速电压可以提高分辨率的主要原因。

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  • happydfli

    第16楼2007/08/16

    我也有同感呀,觉得看到的东西说的都是五花八门,似乎做电镜的人并没有很仔细的读一读专门的教科书,更不用说对电子光学以及相关的一套理论有深入的理解了。大概都是半路出家。俺还需要努力学习呀。

    RENXIN 发表:打住,此言差矣,严格地讲大错特错。 实在不敢相信您在如此错误的概念下操作。

    束斑的大小和电子束的聚焦好坏毫无关系。大束斑和小束斑都可以得到聚焦的图像。

    加速电压高低和束斑大小更无瓜葛。

    加速电压高,分辨率高是不错,但不是由于提高了加速电压而缩小了束斑尺寸的原因。

    看来国内的电镜理论很混淆,以讹传讹真是不假。

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  • zemb

    第17楼2007/08/17

    *******************************************
    此论坛实在霸道,一条个人所见竟遭到如此指责。
    可是你们又不讲出你的道理。
    这样办这个论坛还有什么意义,又有谁敢在此发表见解!?
    *******************************************

    happydfli 发表:我也有同感呀,觉得看到的东西说的都是五花八门,似乎做电镜的人并没有很仔细的读一读专门的教科书,更不用说对电子光学以及相关的一套理论有深入的理解了。大概都是半路出家。俺还需要努力学习呀。

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  • semoperator

    第18楼2007/08/17

    呵呵,言论自由!但见解最好要正确呀,我看了您对我的回复,就按你的说法给我的同事讲解了,但后来经RENXIN指正,查了查教科书,才觉得您说的确实不妥呀。
    提高加速电压可以缩短电子波长,从而提高分辨率。
    不同的加速电压和束斑大小无直接关系,后者好像是受聚光镜光阑所控制的。

    不知以上说法对否?



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    可是你们又不讲出你的道理。
    这样办这个论坛还有什么意义,又有谁敢在此发表见解!?
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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第19楼2007/08/17

    说的也不是没有道理,希望大侠多多做一些有意义的讲解,这样也能大大地提高论坛的人气。最好能把论坛做成电镜的科普论坛,那样可就是No.1了。hoho

    zemb 发表:*******************************************
    此论坛实在霸道,一条个人所见竟遭到如此指责。
    可是你们又不讲出你的道理。
    这样办这个论坛还有什么意义,又有谁敢在此发表见解!?
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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第20楼2007/08/17

    不同的加速电压和束斑大小无直接关系,后者好像是受聚光镜光阑所控制的。

    不知以上说法对否?
    [/quote]

    镜筒内束斑(Cross-over)由聚光镜(Condenser Lens)的电流控制

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