核心参数
规格 | 1个 |
产品介绍
聚合物薄膜测厚仪配件用于测量聚合物薄膜、有机薄膜、高分子薄膜和 光致抗蚀剂薄膜, 光刻胶膜,光刻薄膜,光阻膜在加热或制冷情况下薄膜厚度和光学常量(n, k)的变化。
为了这种特色的测量,孚光精仪公司特意研发了专业的软件和算法,使得该聚合物薄膜测厚仪能够给出薄膜的物理化学指标:例如玻璃化转变温度 glass transition temperature (Tg),热分解温度,薄膜的厚度测量范围也高达10nm--100微米。
聚合物薄膜测厚仪配件在传统薄膜测厚仪的基础上添加了加热/制冷的温度控制单元,使用白光反射光谱技术(WLRS),实时测量薄膜厚度和折射率,并通过专业软件记录下这些数据,能够快速实时给出薄膜厚度和薄膜光学常量等物理化学性能数据,并且能够控制薄膜加热和制冷的速度,是聚合物薄膜特性深入研究的理想工具。干膜测厚仪所使用的软件也适合薄膜的其他热性能研究,例如:薄膜的热消融/热剥蚀thermal
ablation研究,薄膜光学性质随温度的变化,薄膜预烘烤Post Apply Bake,光刻过程后烘烤 Post Exposure
Bake对薄膜厚度的损失等诸多研究。
对于薄膜的厚度测量,这款聚合物薄膜测厚仪,薄膜热特性测厚仪要求薄膜衬底是透明的,背面是不反射的。它能够处理最高4层薄膜的膜堆layer stacks,给出两个参数:例如两个薄膜的厚度或一个薄膜的厚度和光学常量。
这套聚合物薄膜测厚仪,薄膜热特性测厚仪已经成功应用于测量不同聚合物薄膜的热性能,光刻薄膜的热处理影响分析,Si晶圆wafer上的光致抗蚀剂薄膜分析等。
聚合物薄膜测厚仪配件参数
可测膜厚: 5nm-150微米;
波长范围:200-1100nm
精度:0.5%
分辨率:0.02nm
测量点光斑大小:0.5mm
可测样品大小:10-100mm
计算机要求:Windows XP, vista, Win7均可,USB接口;
尺寸:360x400x180mm
重量:13.5kg
电力要求:110/230VAC
聚合物薄膜测厚仪配件应用
聚合物薄膜测量
光致抗蚀剂薄膜测量
化学和生物薄膜测量,传感测量
光电子薄膜结构测量
半导体薄膜厚度测量
在线测量
光学镀膜测量
聚合物薄膜厚度测量
polymer films测量
测量有机薄膜厚度
测量光致抗蚀剂薄膜
测光刻胶膜测厚
测量光刻薄膜厚度
测量光阻薄膜测厚
测量光阻膜厚度
供应商
铜牌会员 第8年