SEM / TEM专用液体原位芯片

TEM用液体原位芯片

由于电镜需要真空环境的特点，正常情况样品只能做真空环境下静态电镜分析。运用新技术生产的液体芯片可将待测液体样品封闭起来，并通过氮化硅薄膜窗口做动态观测。

基于氮化硅薄膜的液体原位芯片。它可以用作液体原位TEM观测。L-300液体芯片由上芯片和下芯片组合而成，芯片中间有10×50μm氮化硅薄膜观察窗口，下芯片左右两侧各有一个液体滴加口。上下两枚芯片由密封胶粘合在一起，中间有一个微型液体腔室。

原位实验时首先在液体滴加口滴入待测液体，等待待测液体在浸润通过微型液体腔室并从另外一个液体滴加口渗出。再使用环氧树脂密封两个液体滴加窗口，待胶固化后即可进行原位液体观测。

            ZB-NS0300 液体芯片使用说明 

ZB-NS0300 液体芯片是用环氧树脂胶将上芯片和下芯片粘合在一起组合

而成，中间形成微型液体腔室。芯片中间有 10um  x  10um  x  30nm 的氮化

硅薄膜观察窗口，背面左右两侧各有一个液体滴加口。

准备工作：待测液体、微量进样器、镊子、双面胶（固定芯片）、吸气装

置（注射器针头带有橡胶圈）、胶（环氧树脂胶或指甲油）。

待测液体封装流程： （示意图如第二页所示）

1.  取出芯片，翻转芯片，使用双面胶将芯片固定在实验台上；

2.  使用微量进样器向液体滴加口滴加待测液体；

3.  将抽真空注射器插入另一液体滴加口；

4.  向下按压橡胶使其尽量与芯片紧密贴合；

5.  缓慢吸拉注射器， 观察左侧滴加口的液体是否减少，若没有减少，按

住橡胶，继续缓慢吸拉注射器；

6.  使用胶密封液体滴加口，胶干燥后即可进行原位液体观测。

              ZB-NS0300原位TEM液体芯片剖面图

           ZB-NS0300原位SEM液体芯片剖面图