变反射率镜脉冲Nd: YAG激光器

能量, mJ

1064 nm

170

260

532 nm

110

160

355 nm

40

55

266 nm

30

50

213 nm

4

6

脉冲时间(FWHM), ns

1064 nm

5-6

7-8

532 nm

4-5

6-7

355 nm

4-5

5-7

266 nm

4-5

5-6

213 nm

4-5

5-6

脉冲重复率, Hz

15

光束发散度, mrad

≤0.7

≤0.8

光束直径, mm

≤5.0

≤6.0

Jitter, ns

±1.0

指向稳定性, mrad

0.1

能量稳定性(RMS), %

1064 nm

2.0

尺寸长x宽x高, mm

激光头

646x150x113

电源

391x364x192

致冷系统

391x364x192

远程控制

105x175

电源

单相 220 ±20V, 50-60 Hz, 750 W