核心参数
规格 | 尺寸:长55x 宽 80 x 高 101 cm、检漏灵敏度:>= 1E-5 mbar.l/s、工作电压:110VAC / 220VAC |
产品介绍
美国 HVA 标准周期真空闸阀 11000 系列
美国 HVA 标准周期真空闸阀 11000 系列满足高真空和超高真空应用。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵,离子泵等完美联用。
HVA 标准周期真空闸阀 11000 系列产品特点
HVA 11000 系列真空闸阀有正面锁定的中心装置或一个软封的气动闸(可选择的),阀门保持关闭状态以防空气压力损失。11000 系列真空闸阀独特的气缸设计保证最低的冲击和振动,因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。HVA不锈钢真空阀门提供了业界最小的内部接口。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃,1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成,确保了阀门的最大完整性,有效消除了虚漏和缺陷部分,避免阀体变形。
阀门手动、气动三种驱动方式可选,标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀 11000 系列可任意位置安装。
HVA 标准周期真空闸阀 11000 系列技术参数
阀门材质: | |
阀门主体 | 304 不锈钢 |
焊接波纹管轴封 | AM-350 |
阀门密封方式: | |
高真空 | 氟橡胶 |
超高真空 | 铜垫圈/氟橡胶 |
真空: | |
压力范围 | 高真空1x10-9 mbar;超高真空 1x10-10 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差压关闭 | 1 bar (任意位置) |
开启前最大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度(不含电磁阀): | |
佛橡胶密封 | 150 °c |
铜垫圈密封 | 阀门关闭 200 °c;阀门打开 150 °c |
驱动方式 | 手动 60 °c;气动 60 °c |
使用寿命:100,000启闭次数 | |
公称通径:DN16-1000 mm |
HVA 标准周期真空闸阀应用案例
上海伯东客户某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统,采用美国 HVA 真空闸阀 11000系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和涡轮分子泵 Hipace 80 成功分析生长晶体表面结构。
* 鉴于信息保密,更详细的应用案例欢迎致电.
HVA标准周期真空闸阀11000 系列产品部件
美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商。美国 HVA 原装进口真空阀门,超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀,高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。
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