产品介绍
尤其适用于SEM / FIB放大倍数校准,亦可用于校准AFM。使用高性能SEM或FIB的显微学家和工程师将会发现这款标样非常有用。该标样于4.8 x 4.18mm硅片上含系列条纹,款式分两种:
1、10-5-2-1-0.5um结构
标样的准确性和均一性:
粒径 | 10μm | 5μm | 2μm | 1μm | 0.5μm |
准确性 | 0.20% | 0.22% | 0.35% | 0.56% | 0.78% |
均一性 | 0.27% | 0.34% | 0.53% | 0.80% | 1.2% |
货号 | 产品描述 | 包装 |
无样品座 | ||
618-5 | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 无样品座 | 个 |
618-7 | CD结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 有证书, 无样品座 | 个 |
有样品座, 无认证: | ||
618-5A | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 A | 个 |
618-5B | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 B | 个 |
618-5C | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 C | 个 |
618-5D | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 D | 个 |
618-5E | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 E | 个 |
618-5F | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 F | 个 |
618-5G | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 G, 自己提供样品座 | 个 |
618-5K | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 K | 个 |
618-5L | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 L | 个 |
618-5M | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 M | 个 |
618-5O | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 O | 个 |
618-5P | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 P | 个 |
618-5Q | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 Q | 个 |
618-5R | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样, 无认证, 样品座 R | 个 |
有样品座, 由 German Physikalische Technische Bundesanstalt 认证 | ||
618-7A | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 A | 个 |
618-7B | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 B | 个 |
618-7C | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 C | 个 |
618-7D | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 D | 个 |
618-7E | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 E | 个 |
618-7F | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 F | 个 |
618-7G | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 G, 自己提供样品座 | 个 |
618-7K | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 K | 个 |
618-7L | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 L | 个 |
618-7M | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 M | 个 |
618-7O | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 O | 个 |
618-7P | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 P | 个 |
618-7Q | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 Q | 个 |
618-7R | CD 结构 10-5-2-1-0.5μm 标样,有证书, 样品座 R | 个 |
2、500-200-100nm结构
标样的准确性和均一性:
粒径 | 500nm | 200nm | 100nm |
准确性 | 0.30% | 0.55% | 0.50% |
均一性 | 0.24% | 0.60% | 1.20% |
货号 | 产品描述 | 包装 |
618-4 | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 无样品座 | 个 |
618-4A | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 A | 个 |
618-4B | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 B | 个 |
618-4C | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 C | 个 |
618-4D | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 D | 个 |
618-4E | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 E | 个 |
618-4F | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 F | 个 |
618-4G | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 G, 自己提供样品座 | 个 |
618-4K | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 K | 个 |
618-4L | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 L | 个 |
618-4M | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 M | 个 |
618-4O | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 O | 个 |
618-4P | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 P | 个 |
618-4Q | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 Q | 个 |
618-4R | CD 结构 500-200-100nm 标样, 无认证, 样品座 R | 个 |
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