显微镜电动平台

行程

75X38

76X52

100X100

150X150

200X200

300X300

重复精度

1um(双向)

1um(双向)

0.2um

0.2um

1um(双向)

1um

准确度

+/-3um

+/-3um

+/-3um

+/-3um

+/-3um

+/-5um

分辨率

0.01um

0.01um

0.01um

0.01um

0.01um

0.1um

最大速度

60-240 mm/s

25-50 mm/s

60-240 mm/s

120-240 mm/s

60-240 mm/s

60-240 mm/s

行程

直接耦合在显微镜Z轴旋转精细轴上

300um

重复精度

4nm

准确度

0.5%

分辨率

0.002um

4nm

最大速度

60 rev/s

Settling time 25ms（载重 500g）