为光刻产生的石英晶体坯片单一分割的刻蚀法.pdf

一种用于单一分割的刻蚀(200)光刻产生的石英晶体坯片的方法。第一步,在石英片的二侧涂覆金属以及随后在二侧涂覆光致抗蚀剂(202)。第二步,对光致抗蚀剂图形化和显影并刻蚀金属层以界定带有窄石英沟道(暴露于待要单一分割的坯片与石英母片204之间)的一个石英坯片的周边。第三步,沿着平行的原子平面被择优刻蚀的石英沟道局部进入片子以便在石英片与待要单一分割的坯片之间提供一个机械上弱的结合,与此同时围绕石英坯片剩余处的周边被刻蚀完全穿通石英母片(206)。第四步,光致抗蚀剂层被从石英片(208)剥离。最后,石英坯片严格沿石英沟道的底部被解理并从片子(210)单一分割成晶体坯片。