您还有0次抽奖机会
锤子
化学放大型正光刻胶组合物.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/18 11:05:25
- 文件大小：1179K
- 下载次数：0
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
提供了一种正光刻胶组合物,该组合物包括一种含有下式(Ⅰ)代表的2－烷基－2－金刚烷基(甲基)丙烯酸酯聚合单元的树脂:其中R1代表氢或甲基和R2代表烷基,该树脂不溶或几乎不溶于碱,但在酸的作用下能变成溶于碱;和一种下式(Ⅴ)代表的酸发生剂:其中Q1、Q2和Q3独立地代表氢、羟基、含1—6个碳原子的烷基或含1—6个碳原子的烷氧基,n是4—8的整数;该光刻胶被ArF激发物激光曝光后具有良好的分辨率并且几乎无基体依赖性。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
下载该资料的还下载了
- CN111423518B一种锂电池粘结剂羧甲基纤维素盐的合成方法.pdf
- Unimolecular Catalytic DNA Biosensor for Amplified Detection of L-Histidine via an Enzymatic Recycling Cleavage Strategy
- 半导体装置及其制造方法.pdf
- Preventive Effect of Embelin from Embelia ribes on Lipid Metabolism and Oxidative Stress in High-Fat Diet-Induced Obesity in Rats
- 化妆品中甲醇的检测方法（气相色谱法）
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。