消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
本发明涉及一种化学放大体系,它对300nm和100nm之间的波长敏感,并包含a)一种不溶于碱性水溶液且包含至少一个酸不稳定基团的聚合物,b)一种能够在辐射时生产酸的化合物。本发明包含一种由脂环族烃烯烃,具有侧环状部分的丙烯酸酯,和环状酸酐制成的聚合物。本发明还涉及一种用于成像这种光刻胶的方法。
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锤子