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锤子
用于深紫外线的光刻胶组合物及其方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/18 14:39:23
- 文件大小：1162K
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简介：
本发明涉及一种化学放大体系，它对300nm和100nm之间的波长敏感，并包含a)一种不溶于碱性水溶液且包含至少一个酸不稳定基团的聚合物，b)一种能够在辐射时生产酸的化合物。本发明包含一种由脂环族烃烯烃，具有侧环状部分的丙烯酸酯，和环状酸酐制成的聚合物。本发明还涉及一种用于成像这种光刻胶的方法。
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