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锤子
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一种互补金属氧化物半导体影像传感器的制造方法,能够保护低温氧化物层,避免钝化层发生剥落。该方法包含下列步骤:在垫金属上形成钝化层;通过使用第一垫掩模,将钝化层图案化,暴露出垫金属的预定部分;在暴露的垫金属上和形成在垫开口区周围的钝化层上,形成氧化物层;依序形成彩色滤光片,平坦化层和微透镜;在上述的结构上形成低温氧化物层,以保护微透镜;及通过第二垫掩模,选择性蚀刻形成在垫开口区周围的低温氧化物层和氧化物层,打开垫金属。
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