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锤子
光刻设备及制造器件的方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/19 14:46:17
- 文件大小：571K
- 下载次数：0
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
在沉浸式光刻设备中，在衬底台和投影透镜之间设置透明板，以防止在液体中产生流而在投影透镜上施加力，这样的力可能会扭曲参考系。该板通过致动器系统相对于参考系维持静止，该致动器系统响应于安装在参考系上的位置传感器。该透明板可以具有和液体相同的折射率。
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