消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
在沉浸式光刻设备中,在衬底台和投影透镜之间设置透明板,以防止在液体中产生流而在投影透镜上施加力,这样的力可能会扭曲参考系。该板通过致动器系统相对于参考系维持静止,该致动器系统响应于安装在参考系上的位置传感器。该透明板可以具有和液体相同的折射率。
<< 查看更多
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
品牌合作伙伴
闪谱好礼超多进来抢
锤子