您还有0次抽奖机会
锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
在本发明中提供了一种能够对从液滴排出装置排出的液滴滴落至衬底后的位置控制进行改善的图案的制作方法。此外,提供一种能够对滴落后的液滴位置精度进行改善的液滴排出装置。进而,提供一种使用本发明的液滴排出装置的半导体装置的制造方法。本发明的特征在于:对从排出部排出的液滴或滴落液滴的衬底照射激光,控制液滴的滴落位置。通过本发明,不使用光刻工序便能够形成图案。
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。