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锤子
掩模盒和传送盒内的光刻掩模以及扫描盒内的掩模的方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/19 14:47:37
- 文件大小：981K
- 下载次数：0
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简介：
本发明涉及一种盒，它能把掩模(MA)封闭起来。该盒(70)对于至少一个预定波长的辐射至少是部分透明的，而且是按这样的方式构成，使得可以利用该波长的光从掩模(MA)的盒(70)的外面得到象。盒(70)的透明部分可由下列材料中的至少一种制成：玻璃、有机玻璃。
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