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锤子
光刻构图装置的保险机构.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/19 15:02:34
- 文件大小：1026K
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简介：
本申请公开了设置构图装置保险机构的光刻装置。在一个实施例中，该装置包括用以提供辐射光束的照明系统，用以支撑赋予该辐射光束以带图案的截面的构图装置的支撑结构，用以保持具有一些靶部的基底的基底支架，用以将图案化的光束投射到该基底靶部上的投射系统，用以相对支撑结构连接该构图装置的连接器；和为了在该连接器出现故障的情况下减小该构图装置失控位移而设置的保险机构。
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