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锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
一种光刻装置,其中包括:用于发射辐射束的照射系统,辐射束包含具有预定波长或预定滤长范围的所需辐射和具有另一波长或另一波长范围的不需要辐射;用于支持图案化结构的支持结构,图案化结构用于将图案传递到辐射束的截面上;用于固定衬底的衬底台;以及用于将已图案化的辐射束投射在衬底目标部分上的投射系统;其特征在于:光刻装置的至少一部分在使用时含有对至少部分的需要辐射基本上透射而对至少部分的不需要辐射基本上不太透射的气体。
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