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锤子
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一种光刻装置,其包括照明系统,该照明系统具有多个光学元件,其能够调节辐射光束从而在横截面中包括线偏振辐射的第一部分以及非偏振或圆偏振辐射的第二部分。该装置进一步包括构造为支承构图部件的支架,构图部件能够给照明辐射光束的横截面赋予图案以形成带图案的辐射光束。提供一基底台来保持基底,同时提供投影系统,并将其配置为将带图案的辐射光束投射到基底的目标部分上。
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